Berogailu zeramikoak

Erdieroaleen fabrikazioaren lehen prozesuan (FEOL),ogiaProzesuen tratamendu desberdinen menpe egon behar du, batez ere ogiak tenperatura jakin batera berotu behar dira eta baldintza zorrotzak daude, tenperaturaren uniformetasunak oso eragin handia du produktuaren errendimenduan; Aldi berean, ekipamendu erdieroaleek hutsean, plasmaren eta gas kimikoen aurrean lan egin behar dute, zeramikazko berogailuak erabiltzea eskatzen duena.Berogailu zeramikoakZinema depositibatzeko ekipo meheen osagai garrantzitsuak dira. Prozesuaren ganberan erabiltzen dira eta zuzenean jartzen dira waferarekin, xaflak prozesuaren tenperatura egonkorra eta uniformea ​​lortzeko eta zehaztasun altuarekin erreakzionatzeko, obra meheak sortzeko.

Zeramikazko berogailuek erabiltzen dituzten film meheen ekipamenduak tenperatura altuak dakartza, batez ere, aluminio nitruro (ALN) oinarritutako material zeramikoak erabiltzen dira. Aluminio nitruroak isolamendu elektrikoa eta eroankortasun termiko bikaina dituelako; Gainera, hedapen termikoko koefizientea silizioarengandik gertu dago eta plasma erresistentzia bikaina du, oso egokia da erdieroale ekipoen osagai gisa erabiltzeko.

Chucks elektrostatikoak (ESCS) batez ere grabatzeko ekipoetan erabiltzen dira, batez ere aluminiozko oxidoa (AL2O3). Chuck elektrostatikoak berogailu bat ere badu, adibide gisa grabaketa lehorra hartuz gero, beharrezkoa da ogia kontrolatzea tenperatura jakin batean -70 ℃ ~ 100 ℃-ko tartean. Hori dela eta, Chuck elektrostatikoak berotu edo xahutu behar du wafer tenperatura zehaztasunez kontrolatzeko. Gainera, xaflaren gainazalaren uniformetasuna bermatzeko, chuck elektrostatikoak sarritan tenperatura kontrolatzeko gunea handitu behar du tenperatura kontrol-zona bakoitzaren tenperatura kontrolatzeko prozesuaren errendimendua hobetzeko. Jakina, teknologiaren garapenarekin, zeramikazko berogailu tradizionalen eta chucks elektrostatikoen arteko bereizketa lausotzen hasi da. Zeramikazko berogailu batzuek tenperatura altuko berogailuaren eta adsortzio elektrostatikoaren funtzio bikoitzak dituzte.

Zeramikazko berogailuak base zeramikazkoa du, eta bizkarrean onartzen duen euskarri zilindrikoko gorputza du. Barruan edo zeramikazko oinarriaren gainazalean, erresistentzia elementuaz gain berotzeko (berogailu geruza), irrati maiztasun elektrodo bat ere badago (irrati maiztasuneko geruza). Berokuntza bizkorra eta hozte azkarra lortzeko, zeramikaren oinarriaren lodiera mehea izan behar da, baina meheegiak ere zurruntasuna murriztuko du. Berogailuaren laguntza-organoa orokorrean oinarrizko hedapen termikoko koefizientea duen material batez egina dago, beraz, laguntza-organoa aluminio nitruro batez ere eginda dago. Berogailuak ardatz baten (ardatz) junturaren egitura paregabea hartzen du behealdean, eta horrek terminalak eta hariak plasma eta gas kimiko korrosiboen eraginetatik babestu ditzake. Bero-eroalearen gasaren sarrera eta irteera-hodiak onartzen dira berogailuaren tenperatura uniformea ​​bermatzeko. Oinarria eta laguntza-organoa lotura-geruza batekin lotuta daude.

Kalitate handiko kalitate handiko eskaintzen duberogailu zeramikoak. Galderarik baduzu edo xehetasun gehiago behar izanez gero, ez izan zalantzarik gurekin harremanetan jartzeko.

Harremanetarako telefonoa # + 86-13567891907

Posta elektronikoa: sales@semiceRex.com